钌靶材废料含A185%、Ru 12%及少量Fe、Mg、Si。从这种废料中生产三氯化钌或纯金属靶材钌粉的工艺流程。关键技术及工艺特点:

(1)利用废料本身的活化剂，调整Al、Ru比活化熔炼，酸溶Al后制备的钌黑粉末氧化蒸馏，因活性很强，可缩短蒸馏时间提高一次蒸馏放率。

(2)可同时生产钉粉和三氯化钉，根据需求调节产品比例。吸收液浓缩为水合三氯化钌，控制洗液用量，可使-次蒸馏吸收和制取的水合三氯化钉产品达到国家石化标准II 型--HG/T 3679- 2000( II )的要求，含(%)Ru 37.23、Fe0.001Na0.08、Ca0.000、Mg0.000、Cu0.00，钉回收奉大于96%。