根据不同需要有很多制备薄膜的方法。一个重要方法是用贵金属靶材以高温离子束溅射的方式产生薄膜。过程中必然产生含铂族金属的废料。据江森，马赛(J. M. )公司报道，2007年全球电子产业铂靶材需求13.2 t,铂靶材废料含铂5.28~6.6t。估计2007年中国铂靶材废料含铂近4 t,钯靶材废料200 ~250 kg, 金靶材废料0.8~1 t,银靶材废料80~1001,形成一类重要的二次资源。

靶材废料再生回收技术比较简单。单金属靶材废料的再生回收实质是粗金属精炼为纯金属的过程。多金属靶材废料的再生回收，涉及废料溶解、贵-贱金属分离及贵金属精炼。这些技术问题，可根据废料的性质和成分制定高效合理的回收工艺。